2021年6月6日 - 36氪获悉,据中国半导体论坛官方微信,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司.科益虹源主要业...www.36kr.com

2025年10月20日 - 黑龙江德国桌面无掩模光刻机无掩模激光直写技术:无需物理掩膜,软件直接输入任意图案,降低成本与时间。.例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘...

2025年4月29日 - 一、中科院光刻机的研发进展情况 - 融合先进理念与技术:中科院在研发光刻机过程中,融合了国内外光刻领域最先进的技术理念和成果,形成了一套独特而高效...