光刻机

时间:2026年02月10日 22:44:54

台式光刻机-仪器百科

简要描述:台式光刻机参数:1.最大曝光面积:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(胶厚≤0.5um的正胶)。3.对准精度:±1um(标准晶圆抛光片)。4.光源强度:35mW/cm2。5.曝光波长:LED...