光刻机

时间:2026年02月11日 15:44:54

光刻机-OFweek激光网

2025年12月31日 - 光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴...