《中国攻克光刻机 心脏 技术!中科院全球首发全固态DUV激光器,3纳米芯片... 2025年3月26日 - 《中国攻克光刻机 心脏 技术!中科院全球首发全固态DUV激光器,3纳米芯片国产化提速》 1.4万 5 2025-03-26 23:13:19 未经作者授权,禁止转载 321 9 83 14...
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ASML称中国早已研发国产光刻机:中科院成功研发DUV光源技术 能生产3... 中国已经开始研发一些国产光刻设备,尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走,但你试... 在这之前,中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光,与目前...finance.sina.cn