2025年10月29日 - 存储芯片用刻蚀机获重大突破,薄膜设备收入同比增长1333%.一是,存储芯片用刻蚀机获重大突破。...www.123.com.cn

2026年1月22日 - 26.等离子刻蚀机功效篇(薄膜刻蚀)对芯片表面的金属膜、介质膜等薄膜材料,等离子刻蚀机可实现精细去除.27.等离子刻蚀机应用篇(传感器芯片)在MEMS传感器...

2025年7月9日 - 是1纳米,5纳米是2017年的成果,因为这是刻蚀机.要论难度,肯定那时候更难,那时连化肥农药都没有,全靠人力!现在的芯片结构虽然复杂,但是现在各种机械设备...

2026年1月21日 - 在12英寸晶圆生产中,均匀性的重要性尤为突出——若晶圆边缘区域刻蚀深度比中心区域偏差0.5nm,整片晶圆可能出现数百个失效芯片,直接导致生产成本大幅上...

2026年1月28日 - 对于国产化而言,刻蚀机的突破面临两大挑战:一是关键零部件依赖进口,如高精度射频电源、涡轮分子泵、纳米级运动控制器等重要部件,短期内难以完全实现国...

2026年1月18日 - 等离子刻蚀机重要价值在于 选择性 与 高精度 ,能在纳米尺度下控制刻蚀区域与深度,是芯片从设计图转化为实体结构的重要工具,等离子刻蚀机直接决定芯片...