ߔ�【技术协同与研发支持】张江高科参与国家 02专项 ,整合光源、光学、精密机械全链条资源;上海电气整合中科院光电所....光刻机整合龙头的核心维度解析 ߔ�【企业地位与技术绑定】张江高科参...news.tianyancha.com

2025年11月23日 - 以前高端光刻光源被美国Cymer、日本Gigaphoton把控,现在国内已实现从0到1的硬核突破:科益虹源的193nm ArF准分子激光器早已量产,脉冲频率提升至6kHz,曝...

2025年2月9日 - 中科院突破5nm激光光刻技术,ASML光刻机难以更换,华为芯片仍难.分析:排名全球科研第1的中科院聚焦光刻机,5nm或需5年.中科院光刻机技术让华为重获新生,...

2026年1月4日 - 没去碰那些热门的光刻机,反而搞出了一种比头发丝细20万倍的 原子金属 ,直接把芯片技术的老路线给颠覆了!.中科院的团队没按常规套路来,他们在材料里夹...