2026年1月3日 - 此外,中科院西安光学精密机械研究所也在EUV光刻机的关键技术研究方面取得了一定进展.一、光刻机设备行业市场发展分析 4...

2025年8月8日 - 正如中科院院士所言: 光刻机之战,本质是工业体系的系统对抗.此次交付的28nm光刻机采用ArFi技术,通过193nm波长光源与浸没式液冷系统的结合,实现等效134...

2026年1月11日 - 现阶段Microtech产品已遍布国内各大知名院所, 如上海交通大学微纳米加工平台, 清华大学精仪系, 北京大学微纳米加工平台, 厦门大学微纳米加工平台,中科...