嫦娥三号技术难点

时间:2026年07月03日 20:53:39

为什么3nm 造芯这么难?

工艺技术复杂度高:需从FinFET转向GAA全环绕栅极架构,推倒重来设计工具、制造工艺和材料;100%依赖造价超1.5亿美元的EUV光刻机,且需数十次高精度曝光;还要替换铜导线为钴、钌...