2025年10月20日 - Polos-BESM 光刻机:无掩模激光技术,成本降低 50%,任意图案轻松输入,适配实验室微纳加工.某生物力学实验室通过 Polos 光刻机,在单一芯片上集成了压阻式...

2025年11月17日 - 科技科学中国技术芯片中国智造光刻机AI次世代发消息充电.中国EUV光刻机「心脏」跳动了!高功率锡等离子体光源连续运行超100小时,ASML专利墙出现裂缝...

2026年1月8日 - 这一下,原本打算购买国产光刻机的单位纷纷改了主意,连长期合作的中科院109厂都取消了订单,国产光刻机一下子没了市场,徐端颐教授的团队没办法,只能放弃...

2025年9月26日 - 全村希望中芯国际迎来久违的好消息,3日晚间,与荷兰光刻机制造商阿斯麦签订12亿美元(77亿人民币)购买单!上观新闻.国产光刻机再迎利好,首台电子束光刻机...

1天前 - 其他国内光刻机进展方面,今年以来,哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源,中科院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至3纳米理论...www.cdpurer.com

2026年1月21日 - 其他国内光刻机进展方面,今年以来,哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源,中科院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至3纳米理论值.公开资...