中科院光刻机

时间:2026年02月13日 01:44:01

电子束光刻机_360百科

电子束光刻机是一种利用高能电子束在光刻胶上进行图案化曝光的精密设备,通过电磁场控制电子束的运动轨迹,可实现纳米级甚至亚纳米级的超高分辨率,无需掩模版即可直接在芯片等基底材料上“手写”电路,广泛应用于量子芯片、新型半导体研发、光掩模... 详情>>工作原理 - 技术优势 - 性能指标 - 应用领域 - 全部baike.so.com