其次,实现短距离制程的一个重要工具就是光刻机.7纳米制程在制造层面的实现离不开高性能光刻机的运行,而这种精密仪器制造成本高和制造时间长...www.cnii.com.cn

2025年8月28日 - 据半年报显示,公司当前共有7类在研项目,覆盖半导体设备关键部件精密机械制造工艺研发、先进制程关键零部件表面处理工艺开发、集成电路制造设备核心模...

2024年3月7日 - 从我国国内来看,国产光刻机产业链也正在不断完善.据环球时报7日援引多家外媒最新消息,全球光刻机巨头阿斯麦(ASML),计划从荷兰迁往其他国家或向海外大...