为什么我国造不出光刻机

时间:2025年04月09日 17:47:32

为什么中国目前仍造不出高端光刻机?

2018年11月23日 - 光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、...mp.ofweek.com/ee/a245673626516-快照