光刻机_360百科
2019年6月14日 - 光刻机,光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺...
光刻机
光刻机
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光刻机_OFweek百科
2025年12月22日 - 光刻机是一种将目标结构图样印刷到硅片等基底上的机器,其机理类似照片冲印过程。光刻机(Mask Aligner),又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是...